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擴散泵效率提(tí)升措施-油擴散泵

作者: 喆能 編輯: 法拉(lā)第 來源: 喆能電磁(cí) 發布日期: 2018.11.29
信息摘要:
油擴散泵致命的缺點就是泵油返(fǎn)流汙染被抽係統。經過大量的研究,現代擴散泵由於增(zēng)加了擋油帽、障(zhàng)板和冷阱等措施,使擴(kuò)散泵的返油率降得很低。所有的油…

油擴散泵致命的(de)缺點就是泵油返流汙染被抽係統。經過大(dà)量的研究(jiū),現代擴散泵(bèng)由於增加(jiā)了擋油帽、障板和冷阱等措施,使擴散泵的返油率降得很(hěn)低。

所有的油擴散泵都存在一定(dìng)程度的返流現象。返流的氣體是少量殘餘的碳氫化合物。返流有兩個不同性質的來源:泵油分子朝向擴散泵頂噴咀的上方(fāng)運動構成泵的主要的返流(liú)。其次要的返流(liú)是被泵壁冷凝(níng)的泵油的遷移或再蒸發。利用好的鍋爐和噴咀設計,可使主要的返流降至最低。在頂(dǐng)噴咀上方設置水(shuǐ)冷擋油帽(mào),它已成為頂噴咀專(zhuān)用的攔截返油的水冷裝置,由於(yú)不斷對冷帽結(jié)構的改進(jìn),使主要返流大大降低。

利用水冷擋油帽,使泵的抽速稍有損失外,可使返油(yóu)率降低。對於許多應用場合是允許的。若(ruò)在係統附加些管道、閥門和(hé)彎管,可(kě)使(shǐ)真空室(shì)的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的(de)光(guāng)學密閉的障板,可限製主要返流,但使泵的抽速約下降50%。

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次要的返流(即冷凝(níng)在(zài)表麵上的泵油遷移和再蒸發是表(biǎo)麵溫度和泵油蒸汽壓的函(hán)數,到達真空室的這種返流量取決於設置在(zài)泵與真空室之間的冷阱的幾何形狀和溫度,常用液氮( 77K)冷阱來捕集油分子。因此真空室的壓(yā)力明顯地低於泵油的蒸(zhēng)汽壓。障板或冷阱不僅必須光學密閉,而且還必(bì)須使進入障板或冷(lěng)阱的油分子與冷麵最少碰撞一次。對於使(shǐ)用吸附劑(如沸石)的障板,為避免油分(fèn)子直(zhí)線飛行,要設置交錯的吸附劑托盤。沸(fèi)石(shí)是一種含有(yǒu)直徑比氣體分子直徑稍大的(de)微孔(kǒng)物質。1盎司( 28.35g)沸石內部約有5英畝吸附麵積,在小型超高真空係統中,使用分子吸附劑障板是有效的。因為在低壓下,在幾個星期內它能連續地吸附碳氫(qīng)化合物和其它氣(qì)體,並不需(xū)要液氮。

現代的油擴散泵在泵入口處,泵油(yóu)的返流已降至大(dà)約室溫下泵油蒸發速率的水平。

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