1、給出各（gè）種被抽氣體的性能曲線（xiàn），最好給出對一些氣體的壓縮比，方便用戶（hù）選（xuǎn）用。

2、用微（wēi）機控製運行與故障診斷。

3、密封處要選高質量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。

4、目（mù）前國內生產擴散泵的廠家較多，型號、尺寸不統一，大泵越作越大，小泵則很少生產。況且對泵的全麵性（xìng）能也（yě）沒有考核指標。行業應對提高（gāo）性能和（hé）質量進行定期檢查、組織生產廠家多做改進工作，使用戶配套方便。

5、泵在結構方麵（miàn）：要縮小尺寸、降低重（chóng）量，保證零件的加工精度，可增加（jiā）級數，提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的（de）被抽氣體的抽氣（qì）量。

6、給（gěi）出各種泵的返油率（lǜ）限定值，進一步降低返油率，擴大油擴（kuò）散泵的用途。油擴散（sàn）泵的工作壓力範圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，隻有少數（shù）部件需要（yào）維（wéi）修，泵內無運動部件，工作中可更換加熱器。矽油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態下可獲得（dé）10-10Torr或更低的壓力。

擴散泵的缺點是返油問題（tí），加上擋（dǎng）油帽和（hé）冷阱及正確操作，其返油率可（kě）降到1×10-5mg/cm2min的地步。

7、增加附件。如設置擋（dǎng）油帽，過熱保護裝置（對冷卻水水（shuǐ）溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護。可自動切斷和複位）。出口壓力的監控（kòng）。

8、規定油量的最大值和最小值和耗油量（liàng）（如0.5~0.7 g/h等（děng））。要觀察油位，以方便用戶及時注油（yóu）。從觀察窗看泵油變質情況以便及時更換。

9、給出合適的前級泵的容量。

10、為了節能加熱功率（lǜ）要可調，要快速（sù）起動和（hé）快速冷卻停泵，提高設備的運轉率。

以上（shàng）是喆（zhé）能小編為大家整理（lǐ）的一些關於提高擴散泵性能質量的建議，希（xī）望能夠幫（bāng）助到大家。

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